据公布的数据显示，半导体芯片28nm工艺建厂花费为60亿美元（约合人民币382亿元）；然而到7nm工艺时，建厂成本却增长至120多亿美元（约合人民币765亿元）；集成电路IC而到5nm时，这一数字更是增长至160亿美元（约合人民币1019亿元）             

而高精度设备的价格，肯定是更为昂贵。譬如，目前实现10nm及以下制程必需的EUV光刻机售价在1.2亿美元；而下一代0.55N EUV光刻机的价格，据分析师预计或许会涨至3亿美元之高。          

半导体技术研究机构Semiengingeering统计的数据显示，开发28nm节点芯片投入为5130万美元；而开发16nm节点则翻倍至1亿美元；到7nm节点时，更是达到了2.97亿美元。

按照这一趋势，3nm研发费用恐怕要到10亿美元，相当骇人，验证完成后还要下一步流片。   

流片是半导体芯片批量生产前的试生产。每款芯片在流片前，都有一群智慧的大脑怀着期待又担心的复杂心情，默默祈祷流片成功。

毕竟流片是一道对于工程师设计芯片、Foundry加工芯片的重要检验程序。如果问题不大还可以重新投片， 电子元器件采购网 如果是大问题就只能是废片了...业内这样的案例也不是不存在。

其实，并不是所有芯片的流片成本都是“千万级乃至上亿”的。更多的是取决于半导体芯片工艺，也就是芯片制程。最便宜的ASIC流片成本需要几十万一次，但随着半导体工艺的升级，芯片设计和流片费用都要呈指数级增长。 

180nm的流片成本大概是50W元，55nm的成本在200W元，16nm成本就飙升到了3000W - 5000W元，到了7nm最低也要过亿。（粗略估算，不考虑MPW or Full mask）

所以说，如今先进制程半导体芯片的研发就是一场“烧钱游戏”，资本成为了诸多晶圆厂难以更进一步的最大阻碍。就连全球排名前列的格芯，也支撑不住停留在7nm的大门前。对于中小晶圆厂来说，想要继续攻克先进制程更是难， 由此可见半导体芯片有多烧钱

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