KLA-Tencor宣布推出针对光学和EUV 空白光罩的FlashScanTM产品线
2024-10-27 KLA-Tencor公司宣布推出全新的FlashScanTM空白光罩*检测产品线。自从1978年公司推出第一台检测系统以来，KLA-Tencor一直是图案光罩检测的主要供应商，新的FlashScan产品线宣告公司进入专用空白光罩的检验市场。光罩坯件制造商需要针对空白光罩的检测系统，用于工艺开发和批量生产过程中的缺陷检测，此外，光罩制造商(“光罩厂”)为了进行光罩原料检测，设备监控和进程控制也需要购买该检测系统。 FlashScan系统可以检查针对光学或极紫外(EUV)光刻的空白光罩。
KLA-Tencor针对7纳米以下IC的制造推出五款显影成型控制系统
2024-10-24 KLA-Tencor公司今天针对7奈米以下的逻辑和尖端记忆体设计节点推出了五款显影成型控制系统，以帮助晶片製造商实现多重曝光技术和EUV微影所需的严格製程公差。在IC製造厂内，ATL?叠对量测系统和SpectraFilm?F1薄膜量测系统可以针对finFET、DRAM、3D NAND和其他复杂元件结构的製造提供製程表徵分析和偏移监控。 Teron?640e光罩检测产品系列和LMS IPRO7光罩叠对位準量测系统可以协助光罩厂开发和鑑定EUV和先进的光学光罩。 5DAnalyzer?X1高级